半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產過程中的溫控設備。
半導體制冷冷水機可以廣泛應用于民用和工業(yè)領域,例如醫(yī)院、工廠等場所。主要應用于夾套反應釜、微通道反應器、反應裝置、組合化學等冷熱源動態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、萃取等設備中。
半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結構對環(huán)境友好,產品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。