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半導(dǎo)體溫控裝置溫度控制裝置 可從高溫300℃直接制冷降溫,低溫可達(dá)-150℃,控溫精度0.5℃智能型控溫,性能穩(wěn)定,應(yīng)用于石化,醫(yī)藥,生化,凍干,軍工等高科技行業(yè)……
半導(dǎo)體專用控溫設(shè)備是一種用于半導(dǎo)體芯片測(cè)試和制造過(guò)程中的溫度控制設(shè)備,可用于控制溫度并確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設(shè)備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清顯示屏,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
晶圓測(cè)試國(guó)產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)晶圓生產(chǎn)完成后,需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè),在檢測(cè)的過(guò)程中,需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試,晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備(晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng))是高精度,高分辨率,高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。
高低溫冷熱臺(tái)控溫設(shè)備主要應(yīng)用于高壓反應(yīng)釜、中試生產(chǎn)不銹鋼反應(yīng)釜、雙層玻璃反應(yīng)釜、夾套反應(yīng)釜、微通道反應(yīng)器、反應(yīng)裝置、組合化學(xué)等冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設(shè)備中。